Трубчатая печь греет образец внутри трубы из кварца или корунда, а трубу через фланцы откачивают или продувают газом. Так проводят отжиг без окисления, синтез материалов и осаждение покрытий. В разделе трубчатые печи KADAMM на 1200–1700 °C под трубы Ø40–100 мм и CVD-установки с газовой частью на три линии.
| Параметр | На что смотреть |
|---|---|
| Диаметр трубы | размер образца или лодочки |
| Длина зоны | равномерно прогретый участок короче трубы: при зоне 420 мм — 210–280 мм |
| Число зон | две зоны — для градиента или длинной ровной зоны |
| Среда | вакуум, азот, аргон или реакционные газы (CVD) |
Образец кладут в центр трубы и выбирают зону нагрева длиннее образца: края трубы выходят из нагревателя и остывают.
Сообщите размер образца, температуру и среду — соберём конфигурацию трубчатой печи или CVD-установки.
Подобрать трубчатую печь →